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Robot Aligner Loadport Elevator

Loadport - RV201

  • 由自動位置回歸固極端外又而空載或由抗失步控制使用編碼器內建之全軸步進馬達之移動實施時具有高可靠度。
  • 由閱讀編碼器數值因精確晶片高度情報可達成當晶圓定位精確檢測晶片高度不同斜片，異常厚度與高度時，機器人可阻止晶片損害。
  • FOUP 與 Autodoor-FOSB 均可搬送。
  • 藉由適宜速度控制，可軟性開/閉動作使外界環境微塵禁止進入。
  • 顯而易見的狀態指示燈。
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