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Robot Aligner Loadport Elevator

Elevator - RE120

本昇降器使用紅外線光電感測器，以固定台上晶圓盒之晶片高度軌高速掃描定位。
  • 藉由馬達操作與透穿光軸感測器。可提供正確定位為檢測斜片與晶片厚度的錯誤。
  • 採用最適S曲線加減控制器，搜尋專用控制器，可實現順暢之高速搜尋。
  • 控制器、步進馬達驅動器與其他電氣控制模組內建於機械部，藉由RORZE主網控制系統操作，萬一故障時可由更換簡單模組迅速地修理。
  • 也可適合於圓形透明的晶圓用。
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