首頁> 產品介紹> Units> Elevator
Robot Aligner Loadport Elevator

Elevator - RE119

本昇降器將晶圓盒內晶片藉由機器人運作搬入/出，所用高速昇降裝置，藉由紅外線光電減測器可檢測晶片高度的搜尋方式。
  • 藉由馬達操作與紅外線光電感測器可提供晶片正確的掃瞄定位。
  • 採用最適S曲線加減控制器，搜尋專用控制器，可實現順暢之高速搜尋。
  • 控制器、步進馬達驅動器與其他電氣控制模組內建於機械部，藉由RORZE主網控制系統操作，萬一故障時可由更換簡單模組迅速地修理。
  • 也可適合於圓形透明的晶圓用。
詢問函下載