Sorter
RORZE 晶圓篩選機為半導體產業中的領導廠商之一,且以其極潔淨度、可信度和精密度而聞名。
- 具備高速度、省空間、低振動、低噪音之裝置。
- 可讀取 M12、T7、M1.15。
- 可以讀取晶片雙面刻號 (正刻和背刻)。
- 藉由搭配光學及影像處理,可實現高識別率。
- 安裝壓力分離板以確保機台內壓為正壓,幫助在傳送區域降低微粒塵的產生。
- 採用雙臂型機械手臂,於各位置上可高速交替搬送。
- 晶圓篩選機可搭配 RR-734 雙邊移動取片的機械手臂,因此不需使用 X-table。
- 機械手臂採用負壓的設計,不允許機械手臂作動中有微粒塵的產生。達到無塵室第一層級的標準。
- RORZE 的新控制器型號能提供機械手臂最佳的加速/減速。