ALP - Active Load Port

• 可相容目前的 EFEM / LP 設備
• 緩衝埠具有一手臂可搬送 FOUP至 LP 。
• 手臂具有搖動型，包括簡單 Z 軸(昇 / 降 + 搖動)。
• 藉由抓握頂自動凸緣至 LP 之手臂搬送 FOUP 至 LP。

• 不需要更換現存 OHT 線路
• 緩衝埠具有一手臂可搬送 FOUP 至 LP。
• 配備於 EFEM 上。

• 操作員可存取 Foup
• 藉由簡單手臂動作，操作員可由確實存取之空間。

• 對於機台和 OHT 僅需要小處修改
• 為緩衝埠增加新 OHT 校正點位。
• 改變 E84 和緩衝埠間的連接方式。
• 在機台側邊無任何改造。