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Reticle Loadport FWBS Sorter Series BWS Series PLVS Series

FWBS

自動晶圓框架傳送及儲存設備
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  • 搭載專屬對應晶圓框架設計的自動開關門乘載台及 無塵室機器人。
  • 配合控制儲存設備的旋轉將空間利用最大化，並且在晶圓儲存設備及晶舟盒底部皆有潔淨氣體填充功能，將晶圓存放環境有效的維持溼度、含氧濃度並且防止微塵汙染，實現高效益及高效率的自動化傳送存儲作業。
  • 氮氣充填模組，採以自主獨立控制噴氣，並即時顯示進出的氣體流量、濕度及溫度，讓使用者方便監控各項數值的變化。
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